上海专业的神秘顾客公司所述第一栅氧层粉饰所述栅极沟槽的侧壁和底壁
2024-01-14(原标题:中芯集成-U央求沟槽MOS晶体管器件过火制备要津专利上海专业的神秘顾客公司,提升了沟槽MOS晶体管器件的电性,还增多了沟槽MOS晶体管器件的可靠性) 金融界2023年12月30日讯息,据国度学问产权局公告,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司央求一项名为“一种沟槽MOS晶体管器件过火制备要津“,公开号CN117316990A,央求日历为2023年10月。 专利摘录清楚,本发明提供一种沟槽MOS晶体管器件过火制备要津,沟槽MOS晶体管器件包括碳化硅衬底,所述碳化硅衬底中变成有栅极沟槽,所述